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TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形
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腐蚀液：10%TMAH，82℃ 光刻图形：矩形条 掩膜：SiO2 异常现象如下图，矩形条边沿腐蚀速度更快，结果比中间更深 哪位大神知道原因啊！  1.png  2.png  3.png  4.png |
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