| 查看: 1186 | 回复: 1 | ||
[求助]
TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形
|
|
腐蚀液：10%TMAH，82℃ 光刻图形：矩形条 掩膜：SiO2 异常现象如下图，矩形条边沿腐蚀速度更快，结果比中间更深 哪位大神知道原因啊！  1.png  2.png  3.png  4.png |
回复此楼
xiaochen1123
金虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 218.9
- 散金: 50
- 帖子: 98
- 在线: 48.6小时
- 虫号: 2273319
- 注册: 2013-02-04
- 专业: 水泥与耐火材料
2楼2016-01-23 09:13:09