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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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小y_无心

银虫 (小有名气)

[求助] TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形

腐蚀液:10%TMAH,82℃
光刻图形:矩形条
掩膜:SiO2
异常现象如下图,矩形条边沿腐蚀速度更快,结果比中间更深
哪位大神知道原因啊!

TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形
1.png


TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形-1
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TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形-2
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TMAH腐蚀硅片出现不能理解的图形-3
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xiaochen1123

金虫 (小有名气)

请问您有有关于TMAH化学性质 与硅二氧化硅,的相关资料吗?

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-01-23 09:13:09
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