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Tao9186银虫 (初入文坛)
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CVD沉积温度 已有2人参与
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| CVD中一般说的沉积温度是指气体温度还是基片温度？ |
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2楼2015-11-17 10:20:18
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6楼2016-03-04 08:56:49
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7楼2021-02-13 02:47:10
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pecvd一般温度比较低，有些人会用lift-off来做氮化硅薄膜的图形化，所以对温度要求就很可以苛刻，所以累积温度一般不会超过110℃，当然温度越高生长速度越快，薄膜也越致密 发自小木虫IOS客户端 |
8楼2021-02-13 02:49:41
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