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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » CVD沉积温度
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Tao9186

银虫 (初入文坛)

[求助] CVD沉积温度 已有2人参与

CVD中一般说的沉积温度是指气体温度还是基片温度？
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1楼 2015-11-17 10:17:39
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4302015060

金虫 (正式写手)
基片温度吧！

发自小木虫Android客户端
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9楼2021-02-21 18:37:59
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Tao9186: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-17 19:17:50
一般指的都是衬底即基片温度。
赞一下(2人) 回复此楼
青出于蓝而胜于蓝
2楼2015-11-17 10:20:18
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yousyunnsei

捐助贵宾 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是指基片温度，也就是衬底温度。你是做什么外延？
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使人成熟的不是岁月，而是经历。
3楼2015-11-17 18:23:24
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Tao9186

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yousyunnsei at 2015-11-17 18:23:24
一般是指基片温度，也就是衬底温度。你是做什么外延？

我不是做外延的，是做多晶薄膜的，最近看了几篇PECVD长氮化硅的文章，了解以下，谢谢！
赞一下 回复此楼
4楼2015-11-17 19:17:19
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