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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » CVD沉积温度
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Tao9186

银虫 (初入文坛)

[求助] CVD沉积温度 已有2人参与

CVD中一般说的沉积温度是指气体温度还是基片温度？
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1楼 2015-11-17 10:17:39
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Tao9186: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-17 19:17:50
一般指的都是衬底即基片温度。
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青出于蓝而胜于蓝
2楼2015-11-17 10:20:18
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yousyunnsei

捐助贵宾 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是指基片温度，也就是衬底温度。你是做什么外延？
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使人成熟的不是岁月，而是经历。
3楼2015-11-17 18:23:24
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Tao9186

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yousyunnsei at 2015-11-17 18:23:24
一般是指基片温度，也就是衬底温度。你是做什么外延？

我不是做外延的，是做多晶薄膜的，最近看了几篇PECVD长氮化硅的文章，了解以下，谢谢！
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4楼2015-11-17 19:17:19
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Tao9186

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by guxue at 2015-11-17 10:20:18
一般指的都是衬底即基片温度。

谢谢！
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5楼2015-11-17 19:18:01
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海盐大头菜

新虫 (初入文坛)
请问有什么办法可以准确测量基片温度的嘛

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6楼2016-03-04 08:56:49
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cherry1226

新虫 (职业作家)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 海盐大头菜 at 2016-03-04 08:56:49
请问有什么办法可以准确测量基片温度的嘛

一般片子底部的托盘是带有温度传感器的，控制页面也会显示你的控制温度来单一变量调制

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7楼2021-02-13 02:47:10
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cherry1226

新虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Tao9186 at 2015-11-17 19:17:19
我不是做外延的，是做多晶薄膜的，最近看了几篇PECVD长氮化硅的文章，了解以下，谢谢！...

pecvd一般温度比较低，有些人会用lift-off来做氮化硅薄膜的图形化，所以对温度要求就很可以苛刻，所以累积温度一般不会超过110℃，当然温度越高生长速度越快，薄膜也越致密

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8楼2021-02-13 02:49:41
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4302015060

金虫 (正式写手)
基片温度吧！

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9楼2021-02-21 18:37:59
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