应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » CVD沉积温度
51/1返回列表
查看: 2226  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

Tao9186

银虫 (初入文坛)

[求助] CVD沉积温度 已有2人参与

CVD中一般说的沉积温度是指气体温度还是基片温度？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-11-17 10:17:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

cherry1226

新虫 (职业作家)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Tao9186 at 2015-11-17 19:17:19
我不是做外延的，是做多晶薄膜的，最近看了几篇PECVD长氮化硅的文章，了解以下，谢谢！...

pecvd一般温度比较低，有些人会用lift-off来做氮化硅薄膜的图形化，所以对温度要求就很可以苛刻，所以累积温度一般不会超过110℃，当然温度越高生长速度越快，薄膜也越致密

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2021-02-13 02:49:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Tao9186: 金币+10, ★★★很有帮助 2015-11-17 19:17:50
一般指的都是衬底即基片温度。
赞一下(2人) 回复此楼
青出于蓝而胜于蓝
2楼2015-11-17 10:20:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yousyunnsei

捐助贵宾 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
一般是指基片温度，也就是衬底温度。你是做什么外延？
赞一下 回复此楼
使人成熟的不是岁月，而是经历。
3楼2015-11-17 18:23:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tao9186

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yousyunnsei at 2015-11-17 18:23:24
一般是指基片温度，也就是衬底温度。你是做什么外延？

我不是做外延的，是做多晶薄膜的，最近看了几篇PECVD长氮化硅的文章，了解以下，谢谢！
赞一下 回复此楼
4楼2015-11-17 19:17:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭