| 查看: 1963 | 回复: 12 | |||
[求助]
磁控溅射射频电源自动关闭
|
|||
|
非强磁性靶，射频溅射金属Sn。20W，5mTorr，设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时，射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板，稍微发热。再次尝试RF溅射该靶，功率氩气流量保持一致，只尝试了3分钟，没有出现问题。而且RF溅射过程中，电压值稳定在135~134V。 用DC电源溅射Sn，电压不稳定。所以选择的RF溅射。 请问，有没有人遇到射频电源关闭的问题？我该从哪里着手检查呢？不尽感激。 |
回复此楼» 猜你喜欢
0857调剂
已经有5人回复
-
欢迎采矿、地质、岩土、计算机、人工智能等专业的同学报考
已经有5人回复
-
279求调剂
已经有4人回复
-
284求调剂
已经有8人回复
-
材料复试调剂
已经有4人回复
-
本子写完了，给DS兄弟看了，得了92分
已经有7人回复
-
求调剂
已经有6人回复
-
材料学硕318求调剂
已经有13人回复
-
一志愿郑大材料学硕298分，求调剂
已经有5人回复
-
材料化工调剂
已经有13人回复
5楼2015-12-04 19:14:59
三水猫
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 10284.6
- 红花: 6
- 帖子: 3322
- 在线: 101.9小时
- 虫号: 321828
- 注册: 2007-03-11
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2015-11-16 14:27:47
3楼2015-11-17 11:17:52
4楼2015-12-04 15:30:12
muxiao-chong
木虫 (正式写手)
炉火纯青
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 509.5
- 散金: 1359
- 红花: 4
- 沙发: 3
- 帖子: 660
- 在线: 582.2小时
- 虫号: 3430300
- 注册: 2014-09-20
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
6楼2015-12-05 13:29:25
muxiao-chong
木虫 (正式写手)
炉火纯青
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 509.5
- 散金: 1359
- 红花: 4
- 沙发: 3
- 帖子: 660
- 在线: 582.2小时
- 虫号: 3430300
- 注册: 2014-09-20
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
7楼2015-12-05 13:29:56
8楼2015-12-07 21:54:36
muxiao-chong
木虫 (正式写手)
炉火纯青
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 509.5
- 散金: 1359
- 红花: 4
- 沙发: 3
- 帖子: 660
- 在线: 582.2小时
- 虫号: 3430300
- 注册: 2014-09-20
- 性别: GG
- 专业: 等离子体物理
9楼2015-12-08 07:23:29
 |
10楼2015-12-08 17:06:31
