| 查看: 2050 | 回复: 12 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控溅射射频电源自动关闭
|
||
|
非强磁性靶，射频溅射金属Sn。20W，5mTorr，设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时，射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板，稍微发热。再次尝试RF溅射该靶，功率氩气流量保持一致，只尝试了3分钟，没有出现问题。而且RF溅射过程中，电压值稳定在135~134V。 用DC电源溅射Sn，电压不稳定。所以选择的RF溅射。 请问，有没有人遇到射频电源关闭的问题？我该从哪里着手检查呢？不尽感激。 |
回复此楼» 猜你喜欢
271求调剂
已经有38人回复
-
293求调剂
已经有18人回复
-
327求调剂
已经有22人回复
-
材料085601调剂
已经有33人回复
-
求调剂
已经有14人回复
-
求调剂
已经有11人回复
-
化学070300 求调剂
已经有21人回复
-
297工科调剂?
已经有3人回复
-
300分求调剂 （085501机械专硕，本科扬大）
已经有9人回复
-
调剂求收留
已经有32人回复
8楼2015-12-07 21:54:36
三水猫
铁杆木虫 (职业作家)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 10284.6
- 红花: 6
- 帖子: 3322
- 在线: 101.9小时
- 虫号: 321828
- 注册: 2007-03-11
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
2楼2015-11-16 14:27:47
3楼2015-11-17 11:17:52
4楼2015-12-04 15:30:12
