应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射射频电源自动关闭
51/1返回列表
查看: 2518  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射射频电源自动关闭

非强磁性靶，射频溅射金属Sn。20W，5mTorr，设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时，射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板，稍微发热。再次尝试RF溅射该靶，功率氩气流量保持一致，只尝试了3分钟，没有出现问题。而且RF溅射过程中，电压值稳定在135~134V。
用DC电源溅射Sn，电压不稳定。所以选择的RF溅射。
请问，有没有人遇到射频电源关闭的问题？我该从哪里着手检查呢？不尽感激。
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-11-14 15:06:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

龙猫

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by muxiao-chong at 2015-12-05 13:29:56
同在镀膜
...

哈哈，几天没去了，好好镀膜

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
8楼2015-12-07 21:54:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

三水猫

铁杆木虫 (职业作家)
和厂家的工程师沟通啊，如果不是特别专业的话
赞一下 回复此楼
2楼2015-11-16 14:27:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 三水猫 at 2015-11-16 14:27:47
和厂家的工程师沟通啊，如果不是特别专业的话

恩，正在联系工程师。谢谢亲啦
赞一下 回复此楼
3楼2015-11-17 11:17:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hahaha0

新虫 (初入文坛)
没遇到过，小问题导师就能修理
赞一下 回复此楼
4楼2015-12-04 15:30:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭