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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射射频电源自动关闭
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虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射射频电源自动关闭

非强磁性靶，射频溅射金属Sn。20W，5mTorr，设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时，射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板，稍微发热。再次尝试RF溅射该靶，功率氩气流量保持一致，只尝试了3分钟，没有出现问题。而且RF溅射过程中，电压值稳定在135~134V。
用DC电源溅射Sn，电压不稳定。所以选择的RF溅射。
请问，有没有人遇到射频电源关闭的问题？我该从哪里着手检查呢？不尽感激。
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1楼 2015-11-14 15:06:05
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hahaha0

新虫 (初入文坛)
没遇到过，小问题导师就能修理
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4楼2015-12-04 15:30:12
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三水猫

铁杆木虫 (职业作家)
和厂家的工程师沟通啊，如果不是特别专业的话
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2楼2015-11-16 14:27:47
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虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 三水猫 at 2015-11-16 14:27:47
和厂家的工程师沟通啊，如果不是特别专业的话

恩，正在联系工程师。谢谢亲啦
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3楼2015-11-17 11:17:52
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龙猫

新虫 (初入文坛)
把机器用坏是我的目标，还在镀膜中～

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5楼2015-12-04 19:14:59
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