24小时热门版块排行榜    

查看: 2000  |  回复: 12
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射射频电源自动关闭

非强磁性靶,射频溅射金属Sn。20W,5mTorr,设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时,射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板,稍微发热。再次尝试RF溅射该靶,功率氩气流量保持一致,只尝试了3分钟,没有出现问题。而且RF溅射过程中,电压值稳定在135~134V。
用DC电源溅射Sn,电压不稳定。所以选择的RF溅射。
请问,有没有人遇到射频电源关闭的问题?我该从哪里着手检查呢?不尽感激。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

龙猫

新虫 (初入文坛)

把机器用坏是我的目标,还在镀膜中~

发自小木虫IOS客户端
5楼2015-12-04 19:14:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

三水猫

铁杆木虫 (职业作家)

和厂家的工程师沟通啊,如果不是特别专业的话
2楼2015-11-16 14:27:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 三水猫 at 2015-11-16 14:27:47
和厂家的工程师沟通啊,如果不是特别专业的话

恩,正在联系工程师。谢谢亲啦
3楼2015-11-17 11:17:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hahaha0

新虫 (初入文坛)

没遇到过,小问题导师就能修理
4楼2015-12-04 15:30:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-21 3/150 2026-03-23 10:32 by Iveryant
[考研] 一志愿070300浙大化学358分,求调剂! +4 酥酥鱼.. 2026-03-21 4/200 2026-03-23 08:12 by Iveryant
[考研] 一志愿东华大学化学070300,求调剂 +7 2117205181 2026-03-21 8/400 2026-03-22 22:55 by chixmc
[考研] 一志愿西安交通大学材料工程专业 282分求调剂 +11 枫桥ZL 2026-03-18 13/650 2026-03-22 20:26 by edmund7
[考研] 307求调剂 +11 冷笙123 2026-03-17 11/550 2026-03-22 20:16 by edmund7
[考研] 308求调剂 +3 墨墨漠 2026-03-21 3/150 2026-03-22 16:54 by i_cooler
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +5 holy J 2026-03-21 5/250 2026-03-21 22:42 by Catalysis25
[考研] 初试 317 +7 半拉月丙 2026-03-20 7/350 2026-03-21 22:26 by peike
[考研] 297求调剂 +3 喜欢还是不甘心 2026-03-20 3/150 2026-03-21 18:33 by 学员8dgXkO
[考研] 302求调剂 +12 呼呼呼。。。。 2026-03-17 12/600 2026-03-21 17:29 by ColorlessPI
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
[考研] 070300化学319求调剂 +7 锦鲤0909 2026-03-17 7/350 2026-03-21 03:46 by JourneyLucky
[考研] 274求调剂 +10 S.H1 2026-03-18 10/500 2026-03-20 23:51 by JourneyLucky
[考研] 295求调剂 +4 一志愿京区211 2026-03-18 6/300 2026-03-20 23:41 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +8 小材化本科 2026-03-18 8/400 2026-03-20 23:16 by JourneyLucky
[考研] 317求调剂 +5 申子申申 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:26 by JourneyLucky
[考研] 求调剂一志愿南京航空航天大学289分 +3 @taotao 2026-03-19 3/150 2026-03-20 21:34 by JourneyLucky
[考研] 材料学求调剂 +4 Stella_Yao 2026-03-20 4/200 2026-03-20 20:28 by ms629
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂(0854都可以) +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
[考研] 一志愿中国海洋大学,生物学,301分,求调剂 +5 1孙悟空 2026-03-17 6/300 2026-03-19 23:46 by zcl123
信息提示
请填处理意见