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磁控溅射射频电源自动关闭
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非强磁性靶，射频溅射金属Sn。20W，5mTorr，设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时，射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板，稍微发热。再次尝试RF溅射该靶，功率氩气流量保持一致，只尝试了3分钟，没有出现问题。而且RF溅射过程中，电压值稳定在135~134V。 用DC电源溅射Sn，电压不稳定。所以选择的RF溅射。 请问，有没有人遇到射频电源关闭的问题？我该从哪里着手检查呢？不尽感激。 |
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