应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 磁性材料 » 磁控溅射射频电源自动关闭
51/1返回列表
查看: 1958  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射射频电源自动关闭

非强磁性靶，射频溅射金属Sn。20W，5mTorr，设定溅射时间为1300s。实际溅射到余98s时，射频电源突然自动关闭。手触摸射频电源控制面板，稍微发热。再次尝试RF溅射该靶，功率氩气流量保持一致，只尝试了3分钟，没有出现问题。而且RF溅射过程中，电压值稳定在135~134V。
用DC电源溅射Sn，电压不稳定。所以选择的RF溅射。
请问，有没有人遇到射频电源关闭的问题？我该从哪里着手检查呢？不尽感激。
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-11-14 15:06:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

龙猫

新虫 (初入文坛)
把机器用坏是我的目标，还在镀膜中～

发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2015-12-04 19:14:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

三水猫

铁杆木虫 (职业作家)
和厂家的工程师沟通啊，如果不是特别专业的话
赞一下 回复此楼
2楼2015-11-16 14:27:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

虎牙姑娘

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 三水猫 at 2015-11-16 14:27:47
和厂家的工程师沟通啊，如果不是特别专业的话

恩，正在联系工程师。谢谢亲啦
赞一下 回复此楼
3楼2015-11-17 11:17:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hahaha0

新虫 (初入文坛)
没遇到过，小问题导师就能修理
赞一下 回复此楼
4楼2015-12-04 15:30:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-01 5/250 2026-03-01 23:31 by L135790
[考研] 292求调剂 +6 yhk_819 2026-02-28 6/300 2026-03-01 23:23 by 向上的胖东
[考研] 0856材料与化工，270求调剂 +6 YXCT 2026-03-01 6/300 2026-03-01 23:21 by 向上的胖东
[考研] 275求调剂 +3 明远求学 2026-03-01 3/150 2026-03-01 22:29 by 刘兵
[考研] 0856求调剂285 +10 吕仔龙 2026-02-28 10/500 2026-03-01 21:37 by 公瑾逍遥
[考研] 299求调剂 +3 Y墨明棋妙Y 2026-02-28 5/250 2026-03-01 21:01 by tangxiaotian
[考博] 26申博 +4 想申博！ 2026-02-26 6/300 2026-03-01 17:32 by 想申博！
[考研] 化工专硕348，一志愿985求调剂 +5 弗格个 2026-02-28 8/400 2026-03-01 17:25 by sunny81
[考研] 321求调剂一志愿东北林业大学材料与化工英二数二 +4 虫虫虫虫虫7 2026-03-01 7/350 2026-03-01 16:52 by caszguilin
[考研] 313求调剂 +3 水流年lc 2026-02-28 3/150 2026-03-01 16:01 by 新能源达人
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-02-28 7/350 2026-03-01 15:14 by wjLi2017
[考研] 材料工程274求调剂 +3 Lilithan 2026-03-01 3/150 2026-03-01 14:58 by ms629
[考研] 求调剂 +6 repeatt?t 2026-02-28 6/300 2026-03-01 14:37 by Sakura绘
[考研] 课题组接收材料类调剂研究生 +3 gaoxiaoniuma 2026-02-28 4/200 2026-03-01 14:30 by jjj三跨
[考研] 295复试调剂 +3 简木ChuFront 2026-03-01 3/150 2026-03-01 14:27 by zzxw520th
[考研] 材料284求调剂，一志愿郑州大学英一数二专硕 +10 想上岸的土拨鼠 2026-02-28 10/500 2026-03-01 14:12 by yc258
[考研] 调剂 +3 简木ChuFront 2026-02-28 3/150 2026-03-01 11:46 by 王伟要上岸啊
[考研] 317一志愿华南理工电气工程求调剂 +6 Soliloquy_Q 2026-02-28 11/550 2026-03-01 11:14 by 歌liekkas
[考研] 311求调剂 +9 南迦720 2026-02-28 10/500 2026-03-01 10:55 by sunny81
[论文投稿] Optics letters投稿被拒求助 30+3 luckyry 2026-02-26 4/200 2026-03-01 09:06 by babero
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭