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带氧化层硅片的清洗
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丫丫smile
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带氧化层硅片的清洗
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新硅片事先用划片机切的，用丙酮浸泡去胶，然后用丙酮、异丙醇、去离子水超声15min清洗，用显微镜观察发现表面还是有很多黑色的颗粒和污渍。
求问各位大侠，这种带二氧化硅层的硅片怎么才能洗的干净？（不能去除表面的氧化硅）
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2015-11-09 09:38:56
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
RCA清洗
划好的片子很难洗的。
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2楼
2015-11-09 11:04:24
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2楼
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Originally posted by
yswyx
at 2015-11-09 11:04:24
RCA清洗
划好的片子很难洗的。
RCA的话浓氨水和氢氟酸不会把氧化硅层破坏掉吗？
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼
2015-11-09 15:49:43
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丫丫smile
at 2015-11-09 15:49:43
RCA的话浓氨水和氢氟酸不会把氧化硅层破坏掉吗？
...
哪儿来的氢氟酸？？？
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4楼
2015-11-10 08:41:57
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Originally posted by
yswyx
at 2015-11-10 08:41:57
哪儿来的氢氟酸？？？...
RCA清洗流程中有一步为氢氟酸清洗呀
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5楼
2015-11-14 15:08:12
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5楼
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丫丫smile
at 2015-11-14 15:08:12
RCA清洗流程中有一步为氢氟酸清洗呀...
如果清洗裸硅片，是3312+HF，如果是氧化片，3312就可以了
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6楼
2015-11-19 14:01:01
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yswyx
at 2015-11-19 14:01:01
如果清洗裸硅片，是3312+HF，如果是氧化片，3312就可以了...
什么是3312啊？求解释
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7楼
2015-12-18 21:22:47
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7楼
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gjl001026
at 2015-12-18 21:22:47
什么是3312啊？求解释...
RCA清洗里，分为1、2、3号液，3312就是不同液体清洗的顺序
发自小木虫Android客户端
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8楼
2015-12-19 11:30:24
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8楼
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yswyx
at 2015-12-19 11:30:24
RCA清洗里，分为1、2、3号液，3312就是不同液体清洗的顺序
...
不太对吧，1号溶液里面就有NH4OH会腐蚀氧化硅层
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9楼
2023-05-08 10:08:55
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