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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 带氧化层硅片的清洗
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丫丫smile

新虫 (初入文坛)

[求助] 带氧化层硅片的清洗 已有1人参与

新硅片事先用划片机切的，用丙酮浸泡去胶，然后用丙酮、异丙醇、去离子水超声15min清洗，用显微镜观察发现表面还是有很多黑色的颗粒和污渍。
求问各位大侠，这种带二氧化硅层的硅片怎么才能洗的干净？（不能去除表面的氧化硅）
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1楼 2015-11-09 09:38:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
RCA清洗
划好的片子很难洗的。
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2楼2015-11-09 11:04:24
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丫丫smile

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-09 11:04:24
RCA清洗
划好的片子很难洗的。

RCA的话浓氨水和氢氟酸不会把氧化硅层破坏掉吗？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2015-11-09 15:49:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 丫丫smile at 2015-11-09 15:49:43
RCA的话浓氨水和氢氟酸不会把氧化硅层破坏掉吗？
...

哪儿来的氢氟酸？？？
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4楼2015-11-10 08:41:57
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丫丫smile

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-10 08:41:57
哪儿来的氢氟酸？？？...

RCA清洗流程中有一步为氢氟酸清洗呀
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5楼2015-11-14 15:08:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 丫丫smile at 2015-11-14 15:08:12
RCA清洗流程中有一步为氢氟酸清洗呀...

如果清洗裸硅片，是3312+HF，如果是氧化片，3312就可以了
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6楼2015-11-19 14:01:01
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gjl001026

新虫 (初入文坛)
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6楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-19 14:01:01
如果清洗裸硅片，是3312+HF，如果是氧化片，3312就可以了...

什么是3312啊？求解释
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7楼2015-12-18 21:22:47
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by gjl001026 at 2015-12-18 21:22:47
什么是3312啊？求解释...

RCA清洗里，分为1、2、3号液，3312就是不同液体清洗的顺序

发自小木虫Android客户端
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8楼2015-12-19 11:30:24
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838799671

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-19 11:30:24
RCA清洗里，分为1、2、3号液，3312就是不同液体清洗的顺序
...

不太对吧，1号溶液里面就有NH4OH会腐蚀氧化硅层
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9楼2023-05-08 10:08:55
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