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丫丫smile

新虫 (初入文坛)

[求助] 带氧化层硅片的清洗已有1人参与

新硅片事先用划片机切的,用丙酮浸泡去胶,然后用丙酮、异丙醇、去离子水超声15min清洗,用显微镜观察发现表面还是有很多黑色的颗粒和污渍。
求问各位大侠,这种带二氧化硅层的硅片怎么才能洗的干净?(不能去除表面的氧化硅)
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838799671

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-19 11:30:24
RCA清洗里,分为1、2、3号液,3312就是不同液体清洗的顺序
...

不太对吧,1号溶液里面就有NH4OH会腐蚀氧化硅层
9楼2023-05-08 10:08:55
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