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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有关台阶仪测试的相关的问题
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
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有关台阶仪测试的相关的问题
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我这边有对一个基片上的薄膜材料进行刻蚀，如图，一边遮挡(未被刻蚀)，一边刻蚀了。用台阶仪测量刻蚀的厚度，当然正常的话，只有一个台阶(测量肯定是 测刻蚀区与未刻蚀区的边界)。这测出来的图形曲线的走势怎么是斜的？

有关台阶仪测试的相关的问题


有关台阶仪测试的相关的问题-1


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1楼 2015-11-07 15:27:48
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allen2009

至尊木虫 (著名写手)
★
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左边做level就可以了。仪器误差范围内，

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14楼2015-11-07 15:40:52
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superceng

至尊木虫 (文坛精英)
没放平呗…

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15楼2015-11-07 15:43:22
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akiraluck

银虫 (小有名气)
good

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16楼2015-11-07 15:52:45
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QASDERFBG123

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我测得时候也有斜的。不过好几组数据差距很小

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17楼2015-11-07 15:54:17
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
很正常的，你level 一下就可以了

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18楼2015-11-07 15:57:12
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fjhcgc

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
没放平

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19楼2015-11-07 16:10:41
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-11-07 15:57:12
很正常的，你level 一下就可以了

level之后也是斜的，没有台阶，level也没用

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20楼2015-11-08 15:18:58
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
20楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-11-08 15:18:58
level之后也是斜的，没有台阶，level也没用
...

你是不是操作错了？不可能，看你的台阶做的很好，你肯定操作错了

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21楼2015-11-08 16:47:42
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
21楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-11-08 16:47:42
你是不是操作错了？不可能，看你的台阶做的很好，你肯定操作错了
...

没有的，我之前也是那样操作的

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22楼2015-11-09 09:43:19
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19911201

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我测试也出现过，你只选取转折部分的高度就好。曲线的上斜，可以通过调节底盘来改变

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23楼2015-11-13 08:51:01
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
23楼: Originally posted by 19911201 at 2015-11-13 08:51:01
我测试也出现过，你只选取转折部分的高度就好。曲线的上斜，可以通过调节底盘来改变

谢谢你的回复，底盘应该是平整的。所以我觉得出现的线条应是 水平方向上有台阶啊！

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24楼2015-11-13 09:49:24
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19911201

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
24楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-11-13 09:49:24
谢谢你的回复，底盘应该是平整的。所以我觉得出现的线条应是 水平方向上有台阶啊！
...

你可以左旋右旋试一下，应该是有变化的

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25楼2015-11-13 10:17:40
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godant

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
关于倾斜，假设你样品台和探针扫描方向是理论的完美水平，但你的样品上下表面是不平行的，所以实测数据肯定会有向上或向下的倾斜，所以仪器有前面的调倾斜旋钮和软件Level的功能。
实际操作过程中，不可能将每个样品的上表面都调整到完美水平，所以，测量完成后需要Level。
数据显示倾斜是由于比例尺放大的原因造成，你横向mm级别长度，纵向高度差才um级别，算斜率的话才千分之一的级别，这是很平的概念了，但因为纵横两轴的显示范围问题，你看起来会很倾斜。
每次测量完成之后先进行Level
另稍作提醒，再上传测量轮廓的时候，把XY轴一块拍进去，能显示出你台阶的大致高度，以及水平扫描长度等信息
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26楼2016-04-18 17:19:52
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张九林林2楼
2015-11-07 15:27   回复  
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machen5253楼
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三只小鸟4楼
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方柏栖5楼
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jaapee6楼
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Junne7楼
2015-11-07 15:27   回复  
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zyjcarol8楼
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bit200921109楼
2015-11-07 15:27   回复  
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pcy071210楼
2015-11-07 15:28   回复  
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张九林林11楼
2015-11-07 15:28   回复  
V字仇杀队12楼
2015-11-07 15:28   回复  
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浴浪鸟13楼
2015-11-07 15:35   回复  
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