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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 有关台阶仪测试的相关的问题
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
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有关台阶仪测试的相关的问题
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我这边有对一个基片上的薄膜材料进行刻蚀，如图，一边遮挡(未被刻蚀)，一边刻蚀了。用台阶仪测量刻蚀的厚度，当然正常的话，只有一个台阶(测量肯定是 测刻蚀区与未刻蚀区的边界)。这测出来的图形曲线的走势怎么是斜的？

有关台阶仪测试的相关的问题


有关台阶仪测试的相关的问题-1


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1楼 2015-11-07 15:27:48
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
23楼: Originally posted by 19911201 at 2015-11-13 08:51:01
我测试也出现过，你只选取转折部分的高度就好。曲线的上斜，可以通过调节底盘来改变

谢谢你的回复，底盘应该是平整的。所以我觉得出现的线条应是 水平方向上有台阶啊！

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24楼2015-11-13 09:49:24
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allen2009

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
左边做level就可以了。仪器误差范围内，

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14楼2015-11-07 15:40:52
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张九林林2楼
2015-11-07 15:27   回复  
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machen5253楼
2015-11-07 15:27   回复  
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三只小鸟4楼
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方柏栖5楼
2015-11-07 15:27   回复  
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jaapee6楼
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Junne7楼
2015-11-07 15:27   回复  
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zyjcarol8楼
2015-11-07 15:27   回复  
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bit200921109楼
2015-11-07 15:27   回复  
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pcy071210楼
2015-11-07 15:28   回复  
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张九林林11楼
2015-11-07 15:28   回复  
V字仇杀队12楼
2015-11-07 15:28   回复  
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浴浪鸟13楼
2015-11-07 15:35   回复  
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