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hihxl1木虫 (正式写手)
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[交流]
和大家交流下图形化薄膜（织构化）制备的掩模材料或模板
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想和大家交流下，这几年图案薄膜（织构）研究这么火，大家都用什么做模板呢？最近清华大学邵天敏老师针对硬质涂层的淹没沉积给出了一篇综述：《图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展 》，其中在掩模沉积部分提到几种钢材或钨丝等做的掩模板，该种掩模主要和PVD、CVD结合制备硬质涂层，掩模尺度都在零点几~几毫米之间。现在想和大家交流下，特别不同学科领域的研究人员，如何寻找尺度更小的掩模材料：（邵老师给出的掩模板要求：承受膜层制备过程的高温、机械强度高尺寸稳定性好、保证沉积材料通过掩模通道抵达基体表面；制备薄膜图形与预设掩模一致） 目前我了解到的信息： 1. PVD镀硬质膜，清华那边采用不锈钢板，听说好像是采用化学法刻蚀做出来的，比如做成条纹状，不同条纹宽度、间隔等； 2. AAO模板，孔径在70nm~500nm左右，深度约达到60微米，模板的尺度达到纳米级，目前调研过国外资料只找到有限几篇PVD其AAO模板结合的文章，见附件。 图1为AAO模板 不知道大家都用过什么样的掩模？  图1.jpg |
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- 附件 2 : Ordered_Metal_Nanotube_Arrays_Fabricated_by_PVD.pdf
2015-11-05 16:22:27, 590.81 K
2015-11-05 16:22:33, 488.13 K
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2楼2015-11-23 15:17:23
hihxl1
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