| 查看: 809 | 回复: 3 | |||
hihxl1木虫 (正式写手)
|
[交流]
和大家交流下图形化薄膜（织构化）制备的掩模材料或模板
|
|
想和大家交流下，这几年图案薄膜（织构）研究这么火，大家都用什么做模板呢？最近清华大学邵天敏老师针对硬质涂层的淹没沉积给出了一篇综述：《图形化固体薄膜技术及其摩擦学性能的研究进展 》，其中在掩模沉积部分提到几种钢材或钨丝等做的掩模板，该种掩模主要和PVD、CVD结合制备硬质涂层，掩模尺度都在零点几~几毫米之间。现在想和大家交流下，特别不同学科领域的研究人员，如何寻找尺度更小的掩模材料：（邵老师给出的掩模板要求：承受膜层制备过程的高温、机械强度高尺寸稳定性好、保证沉积材料通过掩模通道抵达基体表面；制备薄膜图形与预设掩模一致） 目前我了解到的信息： 1. PVD镀硬质膜，清华那边采用不锈钢板，听说好像是采用化学法刻蚀做出来的，比如做成条纹状，不同条纹宽度、间隔等； 2. AAO模板，孔径在70nm~500nm左右，深度约达到60微米，模板的尺度达到纳米级，目前调研过国外资料只找到有限几篇PVD其AAO模板结合的文章，见附件。 图1为AAO模板 不知道大家都用过什么样的掩模？  图1.jpg |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : noppadon_nuntawong_2010.pdf
- 附件 2 : Ordered_Metal_Nanotube_Arrays_Fabricated_by_PVD.pdf
2015-11-05 16:22:27, 590.81 K
2015-11-05 16:22:33, 488.13 K
» 猜你喜欢
招生宣传完结
已经有28人回复
-
酚醛树脂性能测试
已经有1人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有256人回复
-
香江学者计划2026年度申请启动！港科大李桂君教授课题组
已经有1人回复
-
求博导推荐
已经有1人回复
-
申博求助
已经有4人回复
-
材料方向博士，青岛
已经有2人回复
-
申博自荐
已经有4人回复
-
Visual Minteq软件使用求助
已经有1人回复
-
Fe3+的Tanabe-Sugano图原始数据
已经有0人回复
-
济大前沿 逄老师招收调剂：1名化学学硕、1名化工专硕 欢迎发邮件
已经有12人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
2楼2015-11-23 15:17:23
hihxl1
木虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 2355.1
- 散金: 63
- 红花: 1
- 帖子: 467
- 在线: 112.4小时
- 虫号: 1109930
- 注册: 2010-09-28
- 性别: GG
- 专业: 金属材料的微观结构
3楼2015-11-23 17:54:03
4楼2016-02-24 14:50:22
5
