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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 一直测不出ZnO薄膜的阻变特性。。。。。
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)

[求助] 一直测不出ZnO薄膜的阻变特性。。。。。 已有1人参与

我在ITO上直流磁控溅射渡ZnO薄膜，工作气压为0.3pa，氩氧比4:1,3:1,2:1的都做过，时间大概都是10到20分钟，没有渡上电极直接测的，开关特性一直测不出来，不知道问题是不是出在没有渡上电极上？测的时候forming都是挺好的，4-6伏左右，但是一直reset不了，电流都到了15mA以上了还是下不来，换个点测也是一样。有时候时间渡长了膜上会出现细丝，有做过相关实验的能解答一下吗？做了三十几次了，快吐了。。。。
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1楼 2015-11-02 22:22:33
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
电极问题，把电极弄好就可以了。

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两肩如铁，胸襟似海。
3楼2015-11-02 22:29:43
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ThinkTank阳

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
_看看不说话: 金币+2 2015-11-03 18:35:50
溶剂法旋涂啊，很简单的
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stayhungry,stayfoolish!
4楼2015-11-03 09:37:00
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普通回帖

_看看不说话

新虫 (初入文坛)
自己顶一个
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2楼2015-11-02 22:24:26
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-11-02 22:29:43
电极问题，把电极弄好就可以了。

感谢！上电极的掩膜版要去定制吗，孔的大小一般是多少合适啊，第一次做实验问题太多了
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5楼2015-11-03 10:07:39
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ThinkTank阳 at 2015-11-03 09:37:00
溶剂法旋涂啊，很简单的

感谢！我的ITO是在PET上的，温度有说明不能超过150°，旋涂法没去了解不知道温度高不，
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6楼2015-11-03 10:20:31
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by _看看不说话 at 2015-11-03 10:07:39
感谢！上电极的掩膜版要去定制吗，孔的大小一般是多少合适啊，第一次做实验问题太多了...

电极大小对测试结果肯定有影响，但是只要控制在差不多大就行。不用自己定制掩模板，你可以自己用东西自己挖一个，

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两肩如铁，胸襟似海。
7楼2015-11-03 12:03:21
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ThinkTank阳

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by _看看不说话 at 2015-11-03 10:20:31
感谢！我的ITO是在PET上的，温度有说明不能超过150°，旋涂法没去了解不知道温度高不，...

常温旋涂，只需要把氧化锌配成溶液！
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stayhungry,stayfoolish!
8楼2015-11-03 13:41:07
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-11-03 12:03:21
电极大小对测试结果肯定有影响，但是只要控制在差不多大就行。不用自己定制掩模板，你可以自己用东西自己挖一个，
...

蛋疼了，电子束蒸发仪器刚问了一下坏了。。有其他方式渡上电极吗，
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9楼2015-11-03 14:07:00
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by ThinkTank阳 at 2015-11-03 13:41:07
常温旋涂，只需要把氧化锌配成溶液！...

多了种方法，学习了
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10楼2015-11-03 14:11:44
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