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一直测不出ZnO薄膜的阻变特性。。。。。 已有1人参与
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我在ITO上直流磁控溅射渡ZnO薄膜，工作气压为0.3pa，氩氧比4:1,3:1,2:1的都做过，时间大概都是10到20分钟，没有渡上电极直接测的，开关特性一直测不出来，不知道问题是不是出在没有渡上电极上？测的时候forming都是挺好的，4-6伏左右，但是一直reset不了，电流都到了15mA以上了还是下不来，换个点测也是一样。有时候时间渡长了膜上会出现细丝，有做过相关实验的能解答一下吗？做了三十几次了， 快吐了。。。。 |
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ThinkTank阳
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