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一直测不出ZnO薄膜的阻变特性。。。。。 已有1人参与
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我在ITO上直流磁控溅射渡ZnO薄膜,工作气压为0.3pa,氩氧比4:1,3:1,2:1的都做过,时间大概都是10到20分钟,没有渡上电极直接测的,开关特性一直测不出来,不知道问题是不是出在没有渡上电极上?测的时候forming都是挺好的,4-6伏左右,但是一直reset不了,电流都到了15mA以上了还是下不来,换个点测也是一样。有时候时间渡长了膜上会出现细丝,有做过相关实验的能解答一下吗?做了三十几次了, 快吐了。。。。 |
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3楼2015-11-02 22:29:43
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10楼2015-11-03 14:11:44












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