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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 一直测不出ZnO薄膜的阻变特性。。。。。
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)

[求助] 一直测不出ZnO薄膜的阻变特性。。。。。 已有1人参与

我在ITO上直流磁控溅射渡ZnO薄膜，工作气压为0.3pa，氩氧比4:1,3:1,2:1的都做过，时间大概都是10到20分钟，没有渡上电极直接测的，开关特性一直测不出来，不知道问题是不是出在没有渡上电极上？测的时候forming都是挺好的，4-6伏左右，但是一直reset不了，电流都到了15mA以上了还是下不来，换个点测也是一样。有时候时间渡长了膜上会出现细丝，有做过相关实验的能解答一下吗？做了三十几次了，快吐了。。。。
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1楼 2015-11-02 22:22:33
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yellow鑫 at 2015-11-02 22:29:43
电极问题，把电极弄好就可以了。

感谢！上电极的掩膜版要去定制吗，孔的大小一般是多少合适啊，第一次做实验问题太多了
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5楼2015-11-03 10:07:39
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_看看不说话

新虫 (初入文坛)
自己顶一个
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2楼2015-11-02 22:24:26
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yellow鑫

金虫 (正式写手)
电极问题，把电极弄好就可以了。

发自小木虫Android客户端
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两肩如铁，胸襟似海。
3楼2015-11-02 22:29:43
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ThinkTank阳

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
_看看不说话: 金币+2 2015-11-03 18:35:50
溶剂法旋涂啊，很简单的
赞一下(1人) 回复此楼
stayhungry,stayfoolish!
4楼2015-11-03 09:37:00
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