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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 去除硼硅玻璃
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ynn123

新虫 (小有名气)

[求助] 去除硼硅玻璃

用液相源对硅进行掺杂，怎样去除表面的硼硅玻璃或磷硅玻璃？各位大神请指教，非常感谢！！！
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1楼 2015-10-21 09:27:16
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12345678

金虫 (正式写手)
HF去不掉的是硼硅合金。所以高温氧化，把硼硅层氧化后就可以去除了。不过高温对你的扩散结有影响。不改工艺，这问题较难解决。

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4楼2015-10-22 10:21:04
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R2BBr

木虫 (知名作家)
硼硅合金請用HNO3+HF混合酸處理，硼硅會先被HNO3氧化成玻璃，然後HF就繼續腐蝕。

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5楼2015-10-22 13:55:01
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 12345678 at 2015-10-22 10:21:04
HF去不掉的是硼硅合金。所以高温氧化，把硼硅层氧化后就可以去除了。不过高温对你的扩散结有影响。不改工艺，这问题较难解决。

工艺应该是很难改的吧，扩散都会形成硼硅玻璃啊，如果先在表面处理一层氧化膜的话，会不会更容易去除一点啊
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7楼2015-10-22 20:34:31
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12345678

金虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 12345678 at 2015-10-24 10:57:27
你说的对
...

通常加热一下速度比较实用

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14楼2015-10-24 10:59:48
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R2BBr

木虫 (知名作家)
HF不就是專吃玻璃不蝕硅

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2楼2015-10-21 09:30:49
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by R2BBr at 2015-10-21 09:30:49
HF不就是專吃玻璃不蝕硅

只用HF的话，貌似是去不掉的
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3楼2015-10-21 17:10:31
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sterlingcao

木虫 (正式写手)
先分相，用浓硫酸酸溶可以吗

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6楼2015-10-22 13:58:02
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sterlingcao at 2015-10-22 13:58:02
先分相，用浓硫酸酸溶可以吗

怎么分相？
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8楼2015-10-22 20:35:55
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by R2BBr at 2015-10-22 13:55:01
硼硅合金請用HNO3+HF混合酸處理，硼硅會先被HNO3氧化成玻璃，然後HF就繼續腐蝕。

谢谢！
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9楼2015-10-22 20:38:15
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12345678

金虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by R2BBr at 2015-10-22 13:55:01
硼硅合金請用HNO3+HF混合酸處理，硼硅會先被HNO3氧化成玻璃，然後HF就繼續腐蝕。

这个混酸腐蚀很难控制均匀腐蚀。同时它属于Stain etch，有缺陷的地方更容易腐蚀。

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10楼2015-10-24 08:13:28
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