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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 去除硼硅玻璃
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12345678

金虫 (正式写手)
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7楼: Originally posted by ynn123 at 2015-10-22 20:34:31
工艺应该是很难改的吧，扩散都会形成硼硅玻璃啊，如果先在表面处理一层氧化膜的话，会不会更容易去除一点啊...

液相源除了较难处理，气相源可以通过扩散工艺控制实现基本不产生硼硅层。不闲麻烦的话，先氧化一层再服饰一层的方法

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11楼2015-10-24 08:16:51
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R2BBr

木虫 (知名作家)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 12345678 at 2015-10-24 08:13:28
这个混酸腐蚀很难控制均匀腐蚀。同时它属于Stain etch，有缺陷的地方更容易腐蚀。
...

換用H2O2+HF不就結了，況且H2O2還有電子級的極純品可以採�?。

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12楼2015-10-24 09:41:51
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12345678

金虫 (正式写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by R2BBr at 2015-10-24 09:41:51
換用H2O2+HF不就結了，況且H2O2還有電子級的極純品可以採�?。
...

你说的对

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13楼2015-10-24 10:57:27
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12345678

金虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 12345678 at 2015-10-24 10:57:27
你说的对
...

通常加热一下速度比较实用

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14楼2015-10-24 10:59:48
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ynn123

新虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by 12345678 at 2015-10-24 08:13:28
这个混酸腐蚀很难控制均匀腐蚀。同时它属于Stain etch，有缺陷的地方更容易腐蚀。
...

如果先用HNO3，再用HF去除呢
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15楼2015-10-27 16:25:06
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