24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 2486  |  回复: 14
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

ynn123

新虫 (小有名气)

[求助] 去除硼硅玻璃

用液相源对硅进行掺杂,怎样去除表面的硼硅玻璃或磷硅玻璃?各位大神请指教,非常感谢!!!
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ynn123

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 12345678 at 2015-10-22 10:21:04
HF去不掉的是硼硅合金。所以高温氧化,把硼硅层氧化后就可以去除了。不过高温对你的扩散结有影响。不改工艺,这问题较难解决。

工艺应该是很难改的吧,扩散都会形成硼硅玻璃啊,如果先在表面处理一层氧化膜的话,会不会更容易去除一点啊
7楼2015-10-22 20:34:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

R2BBr

木虫 (知名作家)


2楼2015-10-21 09:30:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ynn123

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by R2BBr at 2015-10-21 09:30:49
HF不就是專吃玻璃不蝕硅

只用HF的话,貌似是去不掉的
3楼2015-10-21 17:10:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

12345678

金虫 (正式写手)

HF去不掉的是硼硅合金。所以高温氧化,把硼硅层氧化后就可以去除了。不过高温对你的扩散结有影响。不改工艺,这问题较难解决。

发自小木虫IOS客户端
4楼2015-10-22 10:21:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 291求调剂 +12 关忆北. 2026-04-14 12/600 2026-04-21 15:35 by 18300969621
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[考研] 一志愿中科大材料与化工,353分还有调剂学校吗 +11 否极泰来2026 2026-04-15 13/650 2026-04-20 22:31 by Equinoxhua
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀,最好在一个月之内的,研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[教师之家] 又一批高校组建人工智能学院 师资行吗 不是骗人吗 +4 yexuqing 2026-04-19 4/200 2026-04-20 14:47 by brantleo
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 307中医考研调剂 +9 于以采蘩 2026-04-14 9/450 2026-04-19 08:41 by 烟雨流涯
[考研] 294求调剂 +15 淡然654321 2026-04-15 15/750 2026-04-19 08:20 by cuisz
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[考研] 一志愿华中农业071010,320求调剂 +17 困困困困坤坤 2026-04-14 19/950 2026-04-17 20:08 by 关一盏灯cd
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
信息提示
请填处理意见