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汕头大学海洋科学接受调剂
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ynn123

新虫 (小有名气)

[求助] 去除硼硅玻璃

用液相源对硅进行掺杂,怎样去除表面的硼硅玻璃或磷硅玻璃?各位大神请指教,非常感谢!!!
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ynn123

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by R2BBr at 2015-10-21 09:30:49
HF不就是專吃玻璃不蝕硅

只用HF的话,貌似是去不掉的
3楼2015-10-21 17:10:31
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R2BBr

木虫 (知名作家)


2楼2015-10-21 09:30:49
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12345678

金虫 (正式写手)

HF去不掉的是硼硅合金。所以高温氧化,把硼硅层氧化后就可以去除了。不过高温对你的扩散结有影响。不改工艺,这问题较难解决。

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4楼2015-10-22 10:21:04
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R2BBr

木虫 (知名作家)


硼硅合金請用HNO3+HF混合酸處理,硼硅會先被HNO3氧化成玻璃,然後HF就繼續腐蝕。

发自小木虫Android客户端
5楼2015-10-22 13:55:01
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