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To avoid lateral growth and agglomeration of Cu after reflow, a selective deposition profile (thinner field coverage and thicker bottom coverage) is essential as it ultilizes the above-mentioned phenomenon to drive the Cu downwards in to the narrow structures, creating a bottom-up PVD fill. Ó¢Ò뺺£¡¿ÉÒÔÒâÒë |
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- ×¢²á: 2009-04-27
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2Â¥2015-09-24 16:49:43
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Translator and Proofreader
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ÄûÃÊÊ÷: ½ð±Ò+20, ·ÒëEPI+1, ¡ï¡ï¡ï¡ï¡ï×î¼Ñ´ð°¸, anyway,thanks so much£¡ 2015-09-25 09:00:55
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4Â¥2015-09-25 08:24:49














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