应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
71/1返回列表
查看: 1315  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

nqwcx

新虫 (小有名气)

[求助] 在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生 已有1人参与

本来是想用FIB在金膜上刻一条gap,却在SEM下发现一条卷起的划痕，如图一。卷起的条状就是被铲起来的金。图二是那个卷状的末端，可以看到被某种东西刮完之后还弹了两下，留下点状的凹痕。图三可以清楚地看到这条划痕大约100nm，顶端大约300nm，感觉是被某种横截面是梯形的东西所刮。
  不会是FIB的离子束刻得，因为离子束不会产生这种卷状物，而且离子束刻出的划痕边缘比较粗糙，而这种刮痕的边缘非常齐整。我试了一些尖锐的东西来刮，但都不能产生100nm这么窄的gap。
此基片在热蒸镀Au膜前后，除了镊子并未接触过什么尖锐物体，但镊子的尖端显然在mm量级。
我想请问下大家这种刮痕有可能是什么产生的？

在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生
1.jpg


在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生-1
2.jpg


在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生-2
3.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-09-23 19:10:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzy9082

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？
赞一下 回复此楼
2楼2015-09-23 20:33:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-23 20:33:07
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？

因为这个刻痕比FIB的刻痕质量还高，我想知道是什么引起的
刻蚀的gap在别的位置，没有出现在上面的图中
赞一下 回复此楼
3楼2015-09-23 23:27:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-23 20:33:07
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？

我屮艸芔茻，是晋师兄啊，失敬失敬！！
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-23 23:28:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzy9082

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by nqwcx at 2015-09-23 23:28:23
我屮艸芔茻，是晋师兄啊，失敬失敬！！...

师兄啥啊，都是一届的。。叫声哥就可以了
另外，我也不知道是怎么形成的了。你到底现在在搞些啥研究啊？看你每次发的帖子都不太相关，你们组涉猎范围很广啊。
赞一下 回复此楼
5楼2015-09-24 17:22:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-24 17:22:54
师兄啥啊，都是一届的。。叫声哥就可以了
另外，我也不知道是怎么形成的了。你到底现在在搞些啥研究啊？看你每次发的帖子都不太相关，你们组涉猎范围很广啊。...

光探测器啊。。镀膜为了做电极。。上次发帖测噪声也是一个测试。。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
6楼2015-09-25 08:32:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzy9082

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by nqwcx at 2015-09-25 08:32:40
光探测器啊。。镀膜为了做电极。。上次发帖测噪声也是一个测试。。
...

估计太高端了，每次都没人回答你呢。。
赞一下 回复此楼
7楼2015-09-25 21:29:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 nqwcx 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 289求调剂 +5 BrightLL 2026-03-29 5/250 2026-03-29 17:24 by zhyzzh
[考博] 26申博自荐 +5 whh869393 2026-03-24 5/250 2026-03-29 16:58 by nemohyx
[考研] 340求调剂 +6 Amber00 2026-03-26 6/300 2026-03-29 12:06 by 无际的草原
[考研] 0856求调剂 +7 楒桉 2026-03-28 7/350 2026-03-29 08:28 by fmesaito
[考研] 330分求调剂 +5 qzenlc 2026-03-29 5/250 2026-03-29 07:37 by 无际的草原
[考研] 一志愿211 初试270分 求调剂 +8 谷雨上岸 2026-03-23 9/450 2026-03-29 01:00 by 我是小康
[硕博家园] 求调剂 有机化学考研356分 +3 Nadiums 2026-03-25 4/200 2026-03-29 00:50 by 544594351
[考研] 一志愿太原理工安全工程300分，求调剂 +5 0857求调剂. 2026-03-24 6/300 2026-03-28 22:04 by zhq0425
[考研] 295材料工程专硕求调剂 +7 1428151015 2026-03-27 7/350 2026-03-28 19:58 by S240
[考研] 食品工程专硕一志愿中海洋309求调剂 +4 小张zxy张 2026-03-26 8/400 2026-03-28 19:25 by lbsjt
[考研] 317求调剂 +6 十闲wx 2026-03-24 6/300 2026-03-28 13:27 by Iveryant
[考研] 调剂 +3 好好读书。 2026-03-28 3/150 2026-03-28 12:04 by 王保杰33
[考研] 339求调剂，想调回江苏 +6 烤麦芽 2026-03-27 8/400 2026-03-28 10:40 by 烤麦芽
[考研] 331环境科学与工程求调剂 +3 熠然好运气 2026-03-27 3/150 2026-03-28 04:11 by fmesaito
[考研] 291求调剂 +7 孅華 2026-03-22 7/350 2026-03-28 04:02 by fmesaito
[考研] 材料调剂 5+4 想要一壶桃花水 2026-03-25 10/500 2026-03-26 19:56 by 不吃魚的貓
[考研] 一志愿天津大学339材料与化工求调剂 +3 江往卖鱼 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:42 by 王小欠i
[考研] 0854人工智能方向招收调剂 +4 章小鱼567 2026-03-24 4/200 2026-03-25 13:29 by 2177681040
[考研] 化工专硕求调剂 +3 question挽风 2026-03-24 3/150 2026-03-24 18:48 by jhhcooi
[考研] 277分求调剂，跨调材料 +3 考研调剂lxh 2026-03-24 3/150 2026-03-24 13:52 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭