应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
71/1返回列表
查看: 1304  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

nqwcx

新虫 (小有名气)

[求助] 在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生 已有1人参与

本来是想用FIB在金膜上刻一条gap,却在SEM下发现一条卷起的划痕，如图一。卷起的条状就是被铲起来的金。图二是那个卷状的末端，可以看到被某种东西刮完之后还弹了两下，留下点状的凹痕。图三可以清楚地看到这条划痕大约100nm，顶端大约300nm，感觉是被某种横截面是梯形的东西所刮。
  不会是FIB的离子束刻得，因为离子束不会产生这种卷状物，而且离子束刻出的划痕边缘比较粗糙，而这种刮痕的边缘非常齐整。我试了一些尖锐的东西来刮，但都不能产生100nm这么窄的gap。
此基片在热蒸镀Au膜前后，除了镊子并未接触过什么尖锐物体，但镊子的尖端显然在mm量级。
我想请问下大家这种刮痕有可能是什么产生的？

在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生
1.jpg


在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生-1
2.jpg


在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生-2
3.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-09-23 19:10:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzy9082

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？
赞一下 回复此楼
2楼2015-09-23 20:33:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-23 20:33:07
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？

因为这个刻痕比FIB的刻痕质量还高，我想知道是什么引起的
刻蚀的gap在别的位置，没有出现在上面的图中
赞一下 回复此楼
3楼2015-09-23 23:27:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-23 20:33:07
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？

我屮艸芔茻，是晋师兄啊，失敬失敬！！
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-23 23:28:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzy9082

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by nqwcx at 2015-09-23 23:28:23
我屮艸芔茻，是晋师兄啊，失敬失敬！！...

师兄啥啊，都是一届的。。叫声哥就可以了
另外，我也不知道是怎么形成的了。你到底现在在搞些啥研究啊？看你每次发的帖子都不太相关，你们组涉猎范围很广啊。
赞一下 回复此楼
5楼2015-09-24 17:22:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-24 17:22:54
师兄啥啊，都是一届的。。叫声哥就可以了
另外，我也不知道是怎么形成的了。你到底现在在搞些啥研究啊？看你每次发的帖子都不太相关，你们组涉猎范围很广啊。...

光探测器啊。。镀膜为了做电极。。上次发帖测噪声也是一个测试。。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
6楼2015-09-25 08:32:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jzy9082

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by nqwcx at 2015-09-25 08:32:40
光探测器啊。。镀膜为了做电极。。上次发帖测噪声也是一个测试。。
...

估计太高端了，每次都没人回答你呢。。
赞一下 回复此楼
7楼2015-09-25 21:29:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 nqwcx 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工（085600）296求调剂 +12 稻妻小编 2026-03-26 12/600 2026-03-29 01:04 by 我是小康
[考研] 学硕274求调剂 +9 Li李鱼 2026-03-26 9/450 2026-03-28 21:42 by bymhappy
[考研] 283求调剂 +3 A child 2026-03-28 3/150 2026-03-28 15:41 by ms629
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +10 y7czhao 2026-03-26 10/500 2026-03-28 14:23 by 唐沐儿
[考研] 070300求调剂306分 +4 26要上岸 2026-03-27 4/200 2026-03-28 13:06 by 唐沐儿
[考研] 266分，求材料冶金能源化工等调剂 +7 哇呼哼呼哼 2026-03-27 9/450 2026-03-28 12:22 by zllcz
[考研] 292求调剂 +14 鹅鹅鹅额额额额� 2026-03-25 15/750 2026-03-28 08:45 by WYUMater
[考研] 275求调剂 +10 jjjjjjjjjjl 2026-03-27 10/500 2026-03-27 23:47 by barnett0632
[考研] 283求调剂（080500） +4 A child 2026-03-27 4/200 2026-03-27 15:34 by XPU李庆
[考研] 一志愿211，335分，0856，求调剂院校和导师 +4 倾____萧 2026-03-27 5/250 2026-03-27 11:52 by zhshch
[考研] 324求调剂 +5 hanamiko 2026-03-26 5/250 2026-03-27 10:33 by wangjy2002
[考研] 341求调剂 +7 青柠檬1 2026-03-26 7/350 2026-03-27 00:19 by wxiongid
[考研] 332求调剂 +6 032500 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:45 by 418490947
[考研] 材料专硕 335 分求调剂 +4 拒绝冷暴力 2026-03-25 4/200 2026-03-25 18:45 by haxia
[考研] 0854电子信息求调剂 +7 α____ 2026-03-22 9/450 2026-03-25 13:37 by α____
[考研] 293求调剂 +7 加一一九 2026-03-24 7/350 2026-03-25 12:02 by userper
[考研] B区考研调剂 +4 yqdszhdap－ 2026-03-22 5/250 2026-03-25 08:51 by baoball
[考研] 材料专硕331求调剂 +4 鲜当牛 2026-03-24 4/200 2026-03-24 15:58 by JourneyLucky
[考研] 269求调剂 +4 我想读研11 2026-03-23 4/200 2026-03-23 21:25 by pswait
[考研] 石河子大学（211、双一流）硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭