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nqwcx

新虫 (小有名气)

[求助] 在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生 已有1人参与

本来是想用FIB在金膜上刻一条gap,却在SEM下发现一条卷起的划痕，如图一。卷起的条状就是被铲起来的金。图二是那个卷状的末端，可以看到被某种东西刮完之后还弹了两下，留下点状的凹痕。图三可以清楚地看到这条划痕大约100nm，顶端大约300nm，感觉是被某种横截面是梯形的东西所刮。
  不会是FIB的离子束刻得，因为离子束不会产生这种卷状物，而且离子束刻出的划痕边缘比较粗糙，而这种刮痕的边缘非常齐整。我试了一些尖锐的东西来刮，但都不能产生100nm这么窄的gap。
此基片在热蒸镀Au膜前后，除了镊子并未接触过什么尖锐物体，但镊子的尖端显然在mm量级。
我想请问下大家这种刮痕有可能是什么产生的？

在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生
1.jpg


在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生-1
2.jpg


在用FIB加工电极时出现了奇怪的刮痕，不知是怎么产生-2
3.jpg
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1楼 2015-09-23 19:10:16
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jzy9082

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by nqwcx at 2015-09-25 08:32:40
光探测器啊。。镀膜为了做电极。。上次发帖测噪声也是一个测试。。
...

估计太高端了，每次都没人回答你呢。。
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7楼2015-09-25 21:29:18
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jzy9082

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？
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2楼2015-09-23 20:33:07
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nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-23 20:33:07
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？

因为这个刻痕比FIB的刻痕质量还高，我想知道是什么引起的
刻蚀的gap在别的位置，没有出现在上面的图中
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3楼2015-09-23 23:27:49
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nqwcx

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by jzy9082 at 2015-09-23 20:33:07
重新蒸镀一片就行了嘛，还追求这么多原因干嘛。。。
你这个是刻蚀过后金膜吗？那你刻蚀的GAP在哪儿？

我屮艸芔茻，是晋师兄啊，失敬失敬！！
赞一下 回复此楼
4楼2015-09-23 23:28:23
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