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求助,谁能提供一个管式炉CVD的四气路的气路布局图 已有3人参与
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| 制备石墨烯,分别有甲烷、氢气、氩气以及预留一路气体。用一个机械泵抽真空。感激不尽啊!! |
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2楼2015-09-07 10:13:07
3楼2015-09-07 11:07:02
1239210159
新虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
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- 专业: 金属功能材料
4楼2015-09-08 11:02:06
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5楼2015-09-11 17:34:49
lingxiao00
铜虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
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- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
6楼2016-04-07 16:26:15













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这个谁会给你提供阿,还是想想其他方法吧 