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求助，谁能提供一个管式炉CVD的四气路的气路布局图 已有3人参与
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| 制备石墨烯，分别有甲烷、氢气、氩气以及预留一路气体。用一个机械泵抽真空。感激不尽啊！！ |
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5楼2015-09-11 17:34:49
