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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 化学分析 » 关于XPS测量元素比例的问题
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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 关于XPS测量元素比例的问题

关于xps测量元素种类应该是很准确的。但是对于元素含量比例的问题来讲，结果的可信度如何呢？
我查了些资料，上面表示xps至少存在20%的定量误差，其实对于拟合处理过程其实也相当随意，同样的拟合，有的时候换个背景类型结果差距就上去不少，虽然看拟合得还是蛮好的。也就是说在拟合的方面可以比较“刻意”的去拟合结果达到相对较好的结果。
所以在此我想请教下关于xps元素含量的问题，这个东西测量准确度，可信度到底如何？ 对于发文章的话，这样的结果可信么？

我做了一个Si（+4）和Si（2p3）的薄膜深度剖析，在处理xps数据的时候想到这些问题。
才接触XPS，不是很懂，谢谢大家
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1楼 2015-09-01 09:12:12
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分析测试中心

禁言 (知名作家)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
kevin123581: 金币+1, 谢谢 2015-09-01 13:35:03
本帖内容被屏蔽
3楼2015-09-01 09:49:26
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liwentao2010

荣誉版主 (文坛精英)

山涛

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
kevin123581: 金币+5, 谢谢 2015-09-01 13:34:53
XPS用于分析表面元素价态与形态，而对表面元素含量测定的精准度较低。若只是判定样品中的元素含量，建议楼主用ICP测定
赞一下(1人) 回复此楼
加油！
8楼2015-09-01 11:43:21
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普通回帖

huzhang01
祝福。。。
2楼2015-09-01 09:32:29
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godchenkun

银虫 (正式写手)
★
kevin123581: 金币+1, 谢谢 2015-09-01 13:35:09
一般还是认可的
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4楼2015-09-01 10:40:58
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 分析测试中心 at 2015-09-01 09:49:26
XPS 属于元素半定量工具 通过分峰拟合可以得到原子百分数。

是的，我也知道怎么求，我的意思是分峰拟合人为因素比较大，也就是可以稍微刻意的王好的方向进行拟合。这个意思

谢谢
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5楼2015-09-01 11:38:48
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by godchenkun at 2015-09-01 10:40:58
一般还是认可的

谢谢，准备发论文要用这个结果，所以来请教下可信性
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6楼2015-09-01 11:39:21
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by huzhang01 at 2015-09-01 09:32:29
祝福。。。

谢谢
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7楼2015-09-01 11:39:31
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kevin123581

金虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by liwentao2010 at 2015-09-01 11:43:21
XPS用于分析表面元素价态与形态，而对表面元素含量测定的精准度较低。若只是判定样品中的元素含量，建议楼主用ICP测定

谢谢，我的是深度剖析，ICP也能做么？
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9楼2015-09-01 13:34:39
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liwentao2010

荣誉版主 (文坛精英)

山涛

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
引用回帖:
9楼: Originally posted by kevin123581 at 2015-09-01 13:34:39
谢谢，我的是深度剖析，ICP也能做么？...

不能
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加油！
10楼2015-09-01 13:41:26
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