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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 关于XPS测量元素比例的问题

关于xps测量元素种类应该是很准确的。但是对于元素含量比例的问题来讲,结果的可信度如何呢?
我查了些资料,上面表示xps至少存在20%的定量误差,其实对于拟合处理过程其实也相当随意,同样的拟合,有的时候换个背景类型结果差距就上去不少,虽然看拟合得还是蛮好的。也就是说在拟合的方面可以比较“刻意”的去拟合结果达到相对较好的结果。
所以在此我想请教下关于xps元素含量的问题,这个东西测量准确度,可信度到底如何? 对于发文章的话,这样的结果可信么?

我做了一个Si(+4)和Si(2p3)的薄膜深度剖析,在处理xps数据的时候想到这些问题。
才接触XPS,不是很懂,谢谢大家
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by liwentao2010 at 2015-09-01 11:43:21
XPS用于分析表面元素价态与形态,而对表面元素含量测定的精准度较低。若只是判定样品中的元素含量,建议楼主用ICP测定

谢谢,我的是深度剖析,ICP也能做么?
9楼2015-09-01 13:34:39
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分析测试中心

禁言 (知名作家)

★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
kevin123581: 金币+1, 谢谢 2015-09-01 13:35:03
本帖内容被屏蔽

3楼2015-09-01 09:49:26
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 分析测试中心 at 2015-09-01 09:49:26
XPS 属于元素半定量工具 通过分峰拟合可以得到原子百分数。

是的,我也知道怎么求,我的意思是分峰拟合人为因素比较大,也就是可以稍微刻意的王好的方向进行拟合。这个意思

谢谢
5楼2015-09-01 11:38:48
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by godchenkun at 2015-09-01 10:40:58
一般还是认可的

谢谢,准备发论文要用这个结果,所以来请教下可信性
6楼2015-09-01 11:39:21
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