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kevin123581金虫 (正式写手)
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关于XPS测量元素比例的问题
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关于xps测量元素种类应该是很准确的。但是对于元素含量比例的问题来讲，结果的可信度如何呢？ 我查了些资料，上面表示xps至少存在20%的定量误差，其实对于拟合处理过程其实也相当随意，同样的拟合，有的时候换个背景类型结果差距就上去不少，虽然看拟合得还是蛮好的。也就是说在拟合的方面可以比较“刻意”的去拟合结果达到相对较好的结果。 所以在此我想请教下关于xps元素含量的问题，这个东西测量准确度，可信度到底如何？ 对于发文章的话，这样的结果可信么？ 我做了一个Si（+4）和Si（2p3）的薄膜深度剖析，在处理xps数据的时候想到这些问题。 才接触XPS，不是很懂，谢谢大家 |
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kevin123581: 金币+1, 谢谢 2015-09-01 13:35:03
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3楼2015-09-01 09:49:26
kevin123581
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