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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 关于XPS测量元素比例的问题

关于xps测量元素种类应该是很准确的。但是对于元素含量比例的问题来讲,结果的可信度如何呢?
我查了些资料,上面表示xps至少存在20%的定量误差,其实对于拟合处理过程其实也相当随意,同样的拟合,有的时候换个背景类型结果差距就上去不少,虽然看拟合得还是蛮好的。也就是说在拟合的方面可以比较“刻意”的去拟合结果达到相对较好的结果。
所以在此我想请教下关于xps元素含量的问题,这个东西测量准确度,可信度到底如何? 对于发文章的话,这样的结果可信么?

我做了一个Si(+4)和Si(2p3)的薄膜深度剖析,在处理xps数据的时候想到这些问题。
才接触XPS,不是很懂,谢谢大家
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祝福。。。
2楼2015-09-01 09:32:29
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