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shl0920木虫 (正式写手)
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磁控溅射制备薄膜 已有2人参与
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各位虫友，我最近在做磁控溅射制备CeO2膜的时候选用不锈钢基底，不知道基底不锈钢是不是也会被溅射出来一部分污染我需要得到的CeO2膜啊？不知道有没有相关的文献说明基底也被溅射破坏的问题？恳请各位虫友帮忙，不胜感谢！ |
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