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wdzwyj木虫 (小有名气)
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[交流]
氮化硅掩膜脱落问题
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各位虫友好: 小虫最近做HF刻蚀多孔硅实验。使用氮化硅做掩膜，容易脱落的问题。氮化硅是采用PECVD方法生长，500℃退火所得。 将片子放置在刻蚀槽中，一分钟左右，氮化硅薄膜就开始脱落。有没有方法能避免掩膜脱落？谢谢！  |
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juekong
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