| 查看: 1330 | 回复: 5 | |||
wdzwyj木虫 (小有名气)
|
[交流]
氮化硅掩膜脱落问题
|
|
各位虫友好: 小虫最近做HF刻蚀多孔硅实验。使用氮化硅做掩膜，容易脱落的问题。氮化硅是采用PECVD方法生长，500℃退火所得。 将片子放置在刻蚀槽中，一分钟左右，氮化硅薄膜就开始脱落。有没有方法能避免掩膜脱落？谢谢！  |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有65人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
2楼2015-08-29 10:16:18
juekong
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10019.8
- 红花: 1
- 帖子: 1045
- 在线: 79.8小时
- 虫号: 3651991
- 注册: 2015-01-19
- 专业: 等离子体物理
3楼2015-09-15 06:01:46
likanghit2004
金虫 (小有名气)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 1245
- 散金: 28
- 红花: 1
- 帖子: 101
- 在线: 121.7小时
- 虫号: 551416
- 注册: 2008-04-26
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2015-09-15 08:15:52
5楼2016-01-04 17:48:08
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2016-01-05 11:18:20
