| 查看: 5012 | 回复: 6 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
ALD生长Al2O3 已有2人参与
|
||
| 我最近在做ALD在Si片上长AL2O3，不过我们用的是自己在实验室搭建的一个小型ALD设备，我们使用的是也是三甲基铝，和水。在长之前用HF去除Si表面的SiO2，AFM测出来挺平整的，但是长完Al2O3后（约2nm），表面很多柱状的东西，不知道大家有没有这种情况。是不是因为HF酸腐蚀后，表面形成H-Si键钝化了，使得Al2O3不能再上边生长，然而有些地方没有形成Si-H键，所以可以生长，最终表面为不均匀的柱状分布，还望多多指教，谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
22专硕求调剂
已经有11人回复
-
284求调剂
已经有20人回复
-
291求调剂
已经有7人回复
-
296求调剂
已经有5人回复
-
一志愿沪9，生物学326求调剂
已经有4人回复
-
生物学调剂
已经有8人回复
-
22408 312求调剂
已经有19人回复
-
26年电池方向博士申请
已经有4人回复
-
0854调剂
已经有16人回复
-
山东省基金2026
已经有13人回复
6楼2016-02-25 21:16:41
wanghuaxing 
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2015-07-24 21:43:53
3楼2015-07-27 13:04:59
wanghuaxing
禁虫 (小有名气)
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2015-07-28 23:15:32
