应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » ALD生长Al2O3
51/1返回列表
查看: 4945  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

fdqfei

银虫 (小有名气)

[求助] ALD生长Al2O3 已有2人参与

我最近在做ALD在Si片上长AL2O3，不过我们用的是自己在实验室搭建的一个小型ALD设备，我们使用的是也是三甲基铝，和水。在长之前用HF去除Si表面的SiO2，AFM测出来挺平整的，但是长完Al2O3后（约2nm），表面很多柱状的东西，不知道大家有没有这种情况。是不是因为HF酸腐蚀后，表面形成H-Si键钝化了，使得Al2O3不能再上边生长，然而有些地方没有形成Si-H键，所以可以生长，最终表面为不均匀的柱状分布，还望多多指教，谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-07-24 08:53:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fdqfei

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-07-24 21:43:53
我们用磁控溅射做氧化铝

你们用磁控溅射做多厚的，2nm不太好控制吧，我们也有磁控溅射，是沈科仪的，不知道你们用的哪的设备
赞一下 回复此楼
3楼2015-07-27 13:04:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-07-24 21:43:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-07-28 23:15:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

是否是工艺的问题呢？每次通三甲基铝多长时间，通完后是否通氩气足够时间清洗真空室内的反应气体呢？
赞一下 回复此楼
5楼2015-07-29 16:31:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +4 Ymlll 2026-03-18 6/300 2026-03-18 22:15 by li123456789.
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +5 小材化本科 2026-03-18 5/250 2026-03-18 21:53 by 无懈可击111
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +6 薛云鹏 2026-03-13 6/300 2026-03-18 14:14 by 脱颖而出
[考研] 0703化学调剂 +4 pupcoco 2026-03-17 7/350 2026-03-18 12:14 by djl2006
[考研] 303求调剂 +4 睿08 2026-03-17 6/300 2026-03-18 11:01 by Iveryant
[考研] 0703化学调剂 +3 妮妮ninicgb 2026-03-17 3/150 2026-03-18 10:29 by macy2011
[考研] 环境工程调剂 +8 大可digkids 2026-03-16 8/400 2026-03-18 09:36 by zhukairuo
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 材料与化工求调剂 +6 为学666 2026-03-16 6/300 2026-03-17 20:15 by peike
[考研] 材料专硕326求调剂 +6 墨煜姒莘 2026-03-15 7/350 2026-03-17 17:10 by ruiyingmiao
[考研] 332求调剂 +6 Zz版 2026-03-13 6/300 2026-03-17 17:03 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿南京大学，080500材料科学与工程，调剂 +4 Jy? 2026-03-16 4/200 2026-03-17 11:02 by gaoqiong
[考研] 318求调剂 +3 Yanyali 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:41 by houyaoxu
[考研] 085600材料与化工 求调剂 +13 enenenhui 2026-03-13 14/700 2026-03-16 15:19 by 了了了了。。
[考研] 0856求调剂 +3 刘梦微 2026-03-15 3/150 2026-03-16 10:00 by houyaoxu
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:30 by 求调剂zz
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 333求调剂 +3 152697 2026-03-12 4/200 2026-03-13 07:08 by Iveryant
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭