应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 综合其它 » 【求助】关于teos
51/1返回列表
查看: 707  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

suntht

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于teos

使用P-TEOS-CVD方法，温度是300度，这种条件下沉积在试件表面的是TEOS还是SiO2？如果是SiO2,和硅片直接氧化得到的SiO2性质是否相同？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2008-08-08 15:50:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tingyee

金虫 (小有名气)
★ ★
SHY31(金币+2,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
测个红外看看不就行了吗？热氧化硅致密，介电常数3.9，肯定比各种沉积方法得到的二氧化硅质量好，所以一般在tft做制中是用热氧化的。但是teos制备二氧化硅也有它自己的优势，很重要的一点那就是台阶性很好。这在mems里面有应用。
teos或者其他有机反应源制得的严格讲不是二氧化硅了，里面有碳，他在薄膜中的结合形式也有好多中。就要看你因什么目的而制备了。我觉得
赞一下(10人) 回复此楼
5楼2008-08-11 15:11:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

happyguo

木虫 (小有名气)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
明确告诉你是TEOS
赞一下(10人) 回复此楼
2楼2008-08-08 16:32:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

suntht

木虫 (小有名气)
TEOS的熔点是-77度，在试件上镀膜后，TEOS在室温下是以什么状态存在的？还有，TEOS受热会分解，分解温度是多少度？
赞一下 回复此楼
3楼2008-08-09 14:02:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stardom427

木虫 (著名写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
室温是液态。。。
TEOS受热分解温度好象要700多度
赞一下(10人) 回复此楼
4楼2008-08-10 19:16:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 国自然面上和省基金B类撒花 +17 花田半亩～白 2026-04-21 17/850 2026-04-23 07:30 by john198197
[考研] 有没有学校收留 +3 蒋昌鹏qtj 2026-04-20 3/150 2026-04-22 20:25 by 学员JpLReM
[考研] 312求调剂 +3 山河似你温柔 2026-04-22 3/150 2026-04-22 20:17 by 学员JpLReM
[教师之家] 又一批高校组建人工智能学院 师资行吗 不是骗人吗 +5 yexuqing 2026-04-19 5/250 2026-04-22 10:01 by easeheart
[论文投稿] 急需审稿人！！！ +3 陆小果画大饼 2026-04-21 3/150 2026-04-21 23:54 by jzy_123456
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 085600材料与化工调剂 5+3 孜孜不倦2002 2026-04-19 6/300 2026-04-20 21:25 by babero
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考博] 湖南大学刘巧玲课题组2026年第二批次博士研究生招生信息 +3 南风观火 2026-04-18 5/250 2026-04-20 10:13 by 南风观火
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 304求调剂 +8 castLight 2026-04-16 8/400 2026-04-19 17:14 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 接受任何调剂 +6 也就是栗子 2026-04-17 7/350 2026-04-18 17:20 by 涵竹刘
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 260求调剂 +4 Zyt1314520.. 2026-04-17 5/250 2026-04-18 08:28 by babysonlkd
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 322求调剂 +6 tekuzu 2026-04-17 6/300 2026-04-17 13:48 by Espannnnnol
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭