24小时热门版块排行榜    

查看: 770  |  回复: 4
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

suntht

木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】关于teos

使用P-TEOS-CVD方法,温度是300度,这种条件下沉积在试件表面的是TEOS还是SiO2?如果是SiO2,和硅片直接氧化得到的SiO2性质是否相同?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

tingyee

金虫 (小有名气)

★ ★
SHY31(金币+2,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
测个红外看看不就行了吗?热氧化硅致密,介电常数3.9,肯定比各种沉积方法得到的二氧化硅质量好,所以一般在tft做制中是用热氧化的。但是teos制备二氧化硅也有它自己的优势,很重要的一点那就是台阶性很好。这在mems里面有应用。
teos或者其他有机反应源制得的严格讲不是二氧化硅了,里面有碳,他在薄膜中的结合形式也有好多中。就要看你因什么目的而制备了。我觉得
5楼2008-08-11 15:11:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

happyguo

木虫 (小有名气)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流,暑假快乐
明确告诉你是TEOS
2楼2008-08-08 16:32:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

suntht

木虫 (小有名气)

TEOS的熔点是-77度,在试件上镀膜后,TEOS在室温下是以什么状态存在的?还有,TEOS受热会分解,分解温度是多少度?
3楼2008-08-09 14:02:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

stardom427

木虫 (著名写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢交流
室温是液态。。。
TEOS受热分解温度好象要700多度
4楼2008-08-10 19:16:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的,真有人买论文么?感觉没必要啊 +9 Tide man 2026-08-10 10/500 2026-08-13 20:33 by 温淼淼淼
[硕博家园] 一作与独作在应聘高校教师时区别大吗 +3 mbygzh 2026-08-08 4/200 2026-08-13 19:31 by 龙-樱
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 28/1400 2026-08-13 17:51 by 医学老男孩
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +4 majunge000 2026-08-11 6/300 2026-08-13 16:50 by 四季常青藤
[基金申请] filecode +14 documentary 2026-08-10 16/800 2026-08-13 16:39 by 润生71
[基金申请] Filecode 又变了,巨变 +3 WH3796 2026-08-12 4/200 2026-08-13 14:13 by 小木虫6752397
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 结合人工智能,周易传统文化,filecode打分制来了,3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题,想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] fileCode有新解读? +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode,很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变,有变的大神么? +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
信息提示
请填处理意见