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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 化学分析 » 10um～100um大小的样品，可以用什么表征手段
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)

[求助] 10um～100um大小的样品，可以用什么表征手段 已有2人参与

大家好！我是做集成电路的，打算在极小的区域沉积功能材料，主要是金属氧化物，用光刻的方法定位及控制沉积大小，区域小的是10um×10um，大的是100um×100um。
做出来的材料能用什么表征手段表征呢？现在知道的有SEM，EDS，XRD是不行了，有什么其他手段表征材料的组成或其他性质吗？先行谢过！
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1楼 2015-07-15 21:58:52
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
sunwh_cool: 金币+40, ★★★很有帮助 2015-07-21 08:23:00
组成的话，XPS试试吧，XRD信号弱估计是不行，如果厚度很大的话可以SEM,EDS，拉曼可以考虑，不过最好没有光刻胶，另外tofSIMS也可以试试
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4楼2015-07-16 22:56:38
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zjnuzmz

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sunwh_cool: 金币+40, ★★★很有帮助 2015-07-21 08:22:46
可以测拉曼，也可以转移下来做TEM、EDX，SEM也可以做吧，要看你的具体需求了
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2楼2015-07-16 10:51:47
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liwentao2010

荣誉版主 (文坛精英)

山涛

优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主优秀版主
表征只是论据，来支撑你的论点。不是能表征的，都做一遍，建议先明确问题，再行表征
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加油！
3楼2015-07-16 13:22:37
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sunwh_cool

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by liwentao2010 at 2015-07-16 13:22:37
表征只是论据，来支撑你的论点。不是能表征的，都做一遍，建议先明确问题，再行表征

基本的是沉积的是什么金属氧化物，包含什么元素，有什么缺陷这样的。
样品大小特别小的话，什么表征能做到？
我很少接触表征。
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5楼2015-07-17 11:05:30
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