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10um~100um大小的样品,可以用什么表征手段 已有2人参与
大家好!我是做集成电路的,打算在极小的区域沉积功能材料,主要是金属氧化物,用光刻的方法定位及控制沉积大小,区域小的是10um×10um,大的是100um×100um。
做出来的材料能用什么表征手段表征呢?现在知道的有SEM,EDS,XRD是不行了,有什么其他手段表征材料的组成或其他性质吗?先行谢过! |
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