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sunwh_cool木虫 (正式写手)
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10um～100um大小的样品，可以用什么表征手段 已有2人参与
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大家好！我是做集成电路的，打算在极小的区域沉积功能材料，主要是金属氧化物，用光刻的方法定位及控制沉积大小，区域小的是10um×10um，大的是100um×100um。 做出来的材料能用什么表征手段表征呢？现在知道的有SEM，EDS，XRD是不行了，有什么其他手段表征材料的组成或其他性质吗？先行谢过！ |
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sunwh_cool
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5楼2015-07-17 11:05:30
