| 查看: 773 | 回复: 3 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
利用磁控溅射在二氧化硅表面沉积金电极的问题 已有2人参与
|
|||
|
各位虫友们大家好，在下最近正在进行传感器制作的相关实验，遇到了以下问题，劳烦各位虫友给指点迷经，非常感谢！ 我的实验过程是：一次光刻,IBE,二次光刻，沉积金电极，关键在于金电极要沉积在二氧化硅表面，两者的粘附性很差，剥离过后金马上就掉没。所以尝试用Ti作过渡层，30nm左右，结果粘附性依然不乐观，剥离虽然不掉但却经不起焊接，焊接时电极会掉落。 请问大家是否遇到过此类情况，或者有什么好的建议吗？听说用Cr作过渡层好一些？那过渡层的厚度多少合适呢？磁控溅射时沉积温度和压力多少合适呢？（我常温，1.4Pa，80w） 再次感谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
中国科学院赣江创新研究院水下信息技术中心团队人才招聘
已经有0人回复
-
中国科学院赣江创新研究院水下信息技术中心人才招聘
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有150人回复
-
求助内蒙古工业大学 代码：811 物理化学 2025年考试真题
已经有0人回复
-
什么脱膜剂可以完全清洗干净啊？
已经有2人回复
-
新加坡南洋理工大学招聘博士后（固态电池，固体离子导体，转化正极方向）
已经有15人回复
-
暨南大学化学与材料学院赵宇亮院士正在招博士和博后，方向为生物材料和纳米医学
已经有1人回复
-
可生物降解聚酯正在重塑现代医疗器械
已经有0人回复
-
北京工业（211）课题组收博士
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- “2015年中国稀土十大科技新闻”评选揭晓
已经有108人回复
perry_ping 
新虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 16921.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 2960
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2016-02-26 09:44:09
perry_ping
新虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 16921.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 2960
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
2楼2015-07-28 13:38:04
3楼2015-08-19 21:31:03