| 查看: 933 | 回复: 3 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
利用磁控溅射在二氧化硅表面沉积金电极的问题 已有2人参与
|
|||
|
各位虫友们大家好，在下最近正在进行传感器制作的相关实验，遇到了以下问题，劳烦各位虫友给指点迷经，非常感谢！ 我的实验过程是：一次光刻,IBE,二次光刻，沉积金电极，关键在于金电极要沉积在二氧化硅表面，两者的粘附性很差，剥离过后金马上就掉没。所以尝试用Ti作过渡层，30nm左右，结果粘附性依然不乐观，剥离虽然不掉但却经不起焊接，焊接时电极会掉落。 请问大家是否遇到过此类情况，或者有什么好的建议吗？听说用Cr作过渡层好一些？那过渡层的厚度多少合适呢？磁控溅射时沉积温度和压力多少合适呢？（我常温，1.4Pa，80w） 再次感谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
7075材料过滤难
已经有0人回复
-
求博士机会 · 全固态电池方向
已经有2人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有156人回复
-
达姆施塔特市中心好房出租
已经有52人回复
-
基金放榜前
已经有38人回复
-
今年没中，请各位大神帮我看一下，评审结果，大概几个ABC。
已经有17人回复
-
面上函评意见出来了，像什么等级？
已经有18人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有2人回复
-
西工大张震教授能源电催化团队招收2027级材料/化学/化工推免硕士研究生及博士研究生
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- “2015年中国稀土十大科技新闻”评选揭晓
已经有108人回复
perry_ping 
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2016-02-26 09:44:09
perry_ping
新虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 17210.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 3003
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
2楼2015-07-28 13:38:04
3楼2015-08-19 21:31:03