| 查看: 762 | 回复: 3 | ||||
[求助]
利用磁控溅射在二氧化硅表面沉积金电极的问题 已有2人参与
|
|
各位虫友们大家好，在下最近正在进行传感器制作的相关实验，遇到了以下问题，劳烦各位虫友给指点迷经，非常感谢！ 我的实验过程是：一次光刻,IBE,二次光刻，沉积金电极，关键在于金电极要沉积在二氧化硅表面，两者的粘附性很差，剥离过后金马上就掉没。所以尝试用Ti作过渡层，30nm左右，结果粘附性依然不乐观，剥离虽然不掉但却经不起焊接，焊接时电极会掉落。 请问大家是否遇到过此类情况，或者有什么好的建议吗？听说用Cr作过渡层好一些？那过渡层的厚度多少合适呢？磁控溅射时沉积温度和压力多少合适呢？（我常温，1.4Pa，80w） 再次感谢！ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
【求助】静电纺丝PVA膜交联硼酸
已经有0人回复
-
随笔之眺望世界的足迹
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有232人回复
-
2025建材企业发展大会
已经有0人回复
-
随笔之混凝土外加剂绿色生产的变奏曲
已经有0人回复
-
求修复生态学专业的本科培养方案
已经有0人回复
-
随笔：混凝土外加剂之共生共荣的产业生态
已经有0人回复
-
产业链协同深化助推减水剂行业发展
已经有0人回复
-
聚焦细分市场呈现差异化竞争
已经有0人回复
-
α-半水石膏酸溶液法制备
已经有0人回复
-
招收申请审核制博士研究生，硬碳、硅碳等碳基电化学储能材料方向
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- “2015年中国稀土十大科技新闻”评选揭晓
已经有108人回复
perry_ping 
新虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 16866.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 2951
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
2楼2015-07-28 13:38:04
3楼2015-08-19 21:31:03
perry_ping
新虫 (著名写手)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 16866.7
- 散金: 100
- 红花: 1
- 帖子: 2951
- 在线: 159.3小时
- 虫号: 3620446
- 注册: 2014-12-30
- 专业: 无机合成和制备化学
4楼2016-02-26 09:44:09