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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射制备的Ni-Cr薄膜在后制程中氧化了，该怎么办？求高手解答！！！
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射制备的Ni-Cr薄膜在后制程中氧化了，该怎么办？求高手解答！！！ 已有2人参与

如题：用磁控溅射方法制备的Ni-Cr薄膜后制程中有600℃的高温，然后薄膜氧化了，导致阻抗明显升高，请问这个问题怎么解决啊？
谢谢！！！请高手帮我解答一下！！！
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1楼 2015-07-06 08:45:47
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-07-07 16:00:18
氧化的话应该也是表面一层，是否可以将薄膜厚度稍微做厚一点，在下一个涂覆层前，将表层氧化层处理掉...

在没有做下一个制程之前是OK的，就是做了一个高温的后制程才氧化的，这时候表面 已经有另外一个涂覆层了，不好再处理Ni-Cr层了！
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8楼2015-07-08 08:42:24
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
帖子沉了。自己顶起来求高手解答！！！
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2楼2015-07-06 14:00:41
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
~金蘑菇~: 金币+1, ★有帮助, 感谢帮助！！！O(∩_∩)O谢谢 2015-07-08 13:54:41
你后续的600℃高温时破真空后处理还是直接处理？建议是整个过程都在真空环境中进行，不要拿出来
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用绳命来搞科研
3楼2015-07-06 14:35:34
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-07-06 14:35:34
你后续的600℃高温时破真空后处理还是直接处理？建议是整个过程都在真空环境中进行，不要拿出来

破真空后的下一个步骤，做了另一个涂覆层，需要600℃的高温，高温处理后Ni-Cr层就氧化了，阻抗会变得比较大，现有条件无法完成真空内处理啊
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4楼2015-07-06 16:36:18
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