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磁控溅射制备的Ni-Cr薄膜在后制程中氧化了,该怎么办?求高手解答!!! 已有2人参与
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如题:用磁控溅射方法制备的Ni-Cr薄膜后制程中有600℃的高温,然后薄膜氧化了,导致阻抗明显升高,请问这个问题怎么解决啊? 谢谢!!!请高手帮我解答一下!!! |
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