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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射制备的Ni-Cr薄膜在后制程中氧化了，该怎么办？求高手解答！！！
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射制备的Ni-Cr薄膜在后制程中氧化了，该怎么办？求高手解答！！！ 已有2人参与

如题：用磁控溅射方法制备的Ni-Cr薄膜后制程中有600℃的高温，然后薄膜氧化了，导致阻抗明显升高，请问这个问题怎么解决啊？
谢谢！！！请高手帮我解答一下！！！
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1楼 2015-07-06 08:45:47
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
帖子沉了。自己顶起来求高手解答！！！
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2楼2015-07-06 14:00:41
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
~金蘑菇~: 金币+1, ★有帮助, 感谢帮助！！！O(∩_∩)O谢谢 2015-07-08 13:54:41
你后续的600℃高温时破真空后处理还是直接处理？建议是整个过程都在真空环境中进行，不要拿出来
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用绳命来搞科研
3楼2015-07-06 14:35:34
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-07-06 14:35:34
你后续的600℃高温时破真空后处理还是直接处理？建议是整个过程都在真空环境中进行，不要拿出来

破真空后的下一个步骤，做了另一个涂覆层，需要600℃的高温，高温处理后Ni-Cr层就氧化了，阻抗会变得比较大，现有条件无法完成真空内处理啊
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4楼2015-07-06 16:36:18
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
~金蘑菇~: 金币+1, ★有帮助, 感谢帮助！！！O(∩_∩)O谢谢 2015-07-08 13:53:57
建议将薄膜在同样的高温下通流动的高纯氢气进行表面还原一下看看行不行。
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5楼2015-07-06 22:37:39
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2015-07-06 22:37:39
建议将薄膜在同样的高温下通流动的高纯氢气进行表面还原一下看看行不行。

高温制程后Ni-Cr薄膜上就有另外一层薄膜了，没办法做还原了啊~
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6楼2015-07-07 08:15:29
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by ~金蘑菇~ at 2015-07-06 16:36:18
破真空后的下一个步骤，做了另一个涂覆层，需要600℃的高温，高温处理后Ni-Cr层就氧化了，阻抗会变得比较大，现有条件无法完成真空内处理啊...

氧化的话应该也是表面一层，是否可以将薄膜厚度稍微做厚一点，在下一个涂覆层前，将表层氧化层处理掉
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用绳命来搞科研
7楼2015-07-07 16:00:18
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-07-07 16:00:18
氧化的话应该也是表面一层，是否可以将薄膜厚度稍微做厚一点，在下一个涂覆层前，将表层氧化层处理掉...

在没有做下一个制程之前是OK的，就是做了一个高温的后制程才氧化的，这时候表面 已经有另外一个涂覆层了，不好再处理Ni-Cr层了！
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8楼2015-07-08 08:42:24
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